Как для производства микроэлектронной продукции (печатные платы, микросхемы), так и для последующего контроля ее качества, используется микроскопическое оборудование. Причем для изготовления этих изделий используются специализированные установки, а вот подходящий микроскоп для контроля качества нужно еще подобрать.
Требования, предъявляемые к таким приборам, в первую очередь касаются точности позиционирования, точности перемещения предметного стола и точности проводимых измерений. В этой области (контроль нанесения и толщины пленок, качества поверхности и т.д.) используются как оборудование отраженного или проходящего света, так и стереомикроскопы.
Из продукции компании «Альтами» для осуществления контроля над качеством изделий микроэлектроники подходят, к примеру, металлографические микроскопы отраженного света, в частности, модель Альтами МЕТ 3МТ-ДИК. Данный аппарат позволяет исследовать образцы по методу ДИК (дифференциально-интерференционный или рельефный контраст). Метод применяется для визуализации неровностей поверхности объекта исследований и усиления контраста изображения, а также повышает разрешающую способность микроскопической оптики. К плюсам вышеназванной модели относится и достаточно большой предметный стол, позволяющий, во-первых, размещать на нем массивные и объемные предметы и, во-вторых, перемещать их с высокой точностью.
Металлографическая микроскопическая оптика с большими предметными столиками (или инспекционные микроскопы) широко применяется в сфере микроэлектроники, в частности, для исследования продолговатых протяженных объектов, вроде печатных плат, различных фотошаблонов и прочих изделий.
Для контроля микросхем используют также стереомикроскопы, предоставляющие прямое объемное изображение исследуемых объектов и обеспечивающие высокую степень достоверности получаемой визуальной информации. Допустим, для пайки и исследования печатных плат подойдет Альтами CM0745 – бинокулярная модель. Можно подобрать также прибор с плавным зумом (сменой увеличения), с более высоким разрешением и большим полем зрения.
Цифровые микроскопы «Альтами», передающие изображение объекта с устройства на телевизор или монитор, не менее активно используются в этой сфере деятельности. Камеры, ранее входящие в эти цифровые комплексы, не могли обеспечить нормальную для комфортной работы скорость передачи данных – изображение поступало с некоторым запаздыванием. Теперь же цифровые комплексы «Альтами» могут поставляться с камерами, работающими по USB 3.0 протоколу, то есть, передающими изображение с высокой скоростью без задержек, с сохранением высокого качества.
